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隨著新能源、半導體、石油化工、先進材料及科學儀器等領域不斷的發展,高壓氣體在供氣、輸送、反應、儲運及測試等環節的應用日益廣泛。
在高壓(數MPa至數十MPa)工況下,氣體密度、流動狀態等物性參數會發生明顯變化,對流量測量與控制設備的耐壓能力、測量精度及長期穩定性提出了更高要求。傳統氣體質量流量控制器受工作壓力及結構設計限制,往往難以滿足高壓、高壓差工況下的精準測控需求。
高壓工況下,市面通用型質量流量控制器(MFC)面臨哪些挑戰?
1、工作壓力通常僅1~3MPa范圍以內,無法覆蓋高壓需求;
2、當壓力升高時,高壓差可能造成傳感器測量漂移、閥門失控,無法有效控制流量,嚴重時甚至對內部結構造成損傷;
3、高壓氣體具有更高的密度和更復雜的流動特性,常規MFC在量程適配、測控精度等方面也容易受到影響。
4、高壓應用對設備密封性能和機械強度提出了更嚴苛的要求。一旦密封或耐壓結構設計不足,不僅會影響設備長期運行可靠性,還可能帶來氣體泄漏等安全風險;
因此,高壓氣體測控的核心已不僅是“測得準",更需要兼顧高耐壓、高穩定、高可靠與安全性。我們自主研發的高壓氣體質量流量控制器,采用熱式原理測量氣體的質量流量,不受溫度、壓力的影響,同時配合耐高壓控制閥,實現對氣體質量流量的精準檢測與閉環控制,尤其適用于高壓差、大壓力范圍及連續運行等嚴苛工況。

這款高壓氣體質量流量控制器的核心優勢之一是高耐壓,最大壓差可達40MPa,突破傳統MFC在高壓應用中的壓力限制,可覆蓋從低壓到高壓的不同工作環境,在各個壓力段均能實現穩定控制。采用管狀分流結構設計,優化氣體流通路徑,使介質通過性更好,不易發生堵塞,有助于提升設備長期運行的穩定性。同時,產品具備預熱時間短、零點漂移小、響應速度快、可靠性顯著等特點,適用于需要高耐壓且壓差大的氣體控制工況。
在通信兼容性方面,支持RS232/485Modbus通訊,并可定制DeviceNet、PROFINET、EtherCAT、PROFIBUS-DP 等多種工業通信協議,可靈活接入各類自動化控制系統。
可廣泛應用于各類高壓氣體測控場景,例如:
• 氫能與儲氫領域:高壓氫氣供給/輸送、氫能裝備測試、固態儲氫材料研發及氫能裝備高壓氣體充裝與測試、氫氣循環及高壓氫氣輸送流量控制;
• 超臨界技術領域:CO?超臨界萃取/清洗、高壓CO?注入、超臨界流體反應及高壓氣體精密供給;
• 石油天然氣領域:頁巖氣/煤層氣模擬、巖心驅替、油藏模擬、甲烷、CO2、N2等氣體高壓注入及油氣裝備測試;
• 化工石化領域:高壓催化反應、精細化工實驗中的高壓工藝氣體供給與流量控制;
• 新能源材料領域:電子材料研發、新能源材料制備、特種材料熱處理、高壓氣氛熱處理及材料性能測試;
• 科研與實驗裝備領域:高溫高壓反應釜、催化反應、超臨界實驗、高壓氣體實驗平臺的精準供氣;
• 航空航天領域:空間環境模擬、航天推進實驗、高壓氣體充注及及航空航天裝備測試;
• 工業智能裝備領域:高壓氣體供氣、自動化設備氣路控制、智能裝備氣體供應、工業過程氣體流量控制;
• 儀器儀表領域:高壓標準氣體供給、儀器校準、流量儀表測試、泄漏測試及高壓氣體計量;
以及半導體周邊的科研研發、先進封裝、設備耐壓測試等應用。

我們還可提供防爆定制方案:
針對高壓、易燃易爆等特殊工況,ACCU還可提供本安防爆型高壓氣體質量流量控制器定制方案。該產品防爆等級可達到ExiaⅡCT6 Ga,防護等級達到IP65,同時具備40MPa耐壓能力,在實現精準流量測量與控制的基礎上,進一步提升設備在高壓危險環境中的運行安全性。
如需溝通具體方案,請與頁面的產品經理聯系。
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